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渦旋泵：潔凈、高性能的無油真空泵
渦旋泵通過簡單的雙渦旋盤式結(jié)構(gòu)產(chǎn)生真空，即一個嵌套渦旋盤圍繞另一個旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生捕集氣體運動的空間。氣體從周邊進入渦旋泵，并被轉(zhuǎn)移和壓縮至中央，然后在中央處排放?？焖倏深A(yù)測的維護過程大大縮短了服務(wù)停機時間，降低了維護成本。在需要無油泵的情況下，渦旋泵是旋片泵的理想替代。
安捷倫 IDP 密封渦旋式干泵具有完全隔開的軸承，可提供靜音、潔凈、無油的真空。它們非常適用于分析儀器、低溫應(yīng)用、氦氣再循環(huán)、冷凍干燥和大麻提取，也可作為渦輪分子泵的前級泵。
Agilent TriScroll 泵是一款可靠耐用的渦旋泵，可提供高抽速和極限真空度，可選配變頻器或三相電機。TriScroll 泵可用于泄漏檢測、制造過程和其他工業(yè)應(yīng)用。

IDP-3 渦旋式干泵
Agilent IDP-3 渦旋式干泵是一款創(chuàng)新、緊湊、高性能的無油真空泵，適用于研究、分析儀器和實驗室市場中的多種應(yīng)用。這款泵是用于常規(guī)真空應(yīng)用的小渦旋式干泵，可輕松集成到 OEM 系統(tǒng)中。
Agilent IDP 泵采用密封設(shè)計，電機和所有軸承均與真空環(huán)路完全隔離。這種設(shè)計能夠延長軸承使用壽命，提供清潔的無油真空。IDP 泵采用單面渦輪設(shè)計，可通過簡單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護操作。

特征
-輕便小巧的 IDP 渦旋式干泵
-潔凈、無油的真空環(huán)路 — 無需繁瑣的維護，不存在污染風險
-密封設(shè)計，與電機和軸承完全隔離
-靜音運行，提高工作場所舒適性
-低振動
-優(yōu)于隔膜泵的極限真空度
-24 VDC 電機選件可控制抽速使用壽命長，維護快速
-所有 IDP-3 泵標配計時器
-非常適用于 GC/MS 應(yīng)用
-體積小巧，非常適合集成到分析儀器、檢漏和氦氣再循環(huán)的 OEM 系統(tǒng)中

TriScroll 600 變頻泵
Agilent TriScroll 600 變頻泵是一款渦旋式干泵，抽速為 30 m3/h (500 L/min)。這款泵將變頻技術(shù)的優(yōu)點與 Agilent TriScroll 真空泵的良好性能結(jié)合。
TriScroll 600 采用變頻技術(shù)，在全球所有頻率和輸入電壓下均能提供穩(wěn)定如一的真空性能TriScroll 600 變頻泵避免了油封旋片泵需要經(jīng)常維護的麻煩，很容易達到法規(guī)和環(huán)保方面的要求，并節(jié)省了處置廢油的成本。

特征
-高抽速（30 m3/h，500 L/min）和低極限壓力可提供潔凈的無油真空
-各種電源頻率下，抽速均保持不變
-通過 RS-232 或 0-10 V 控制信號調(diào)節(jié)泵的轉(zhuǎn)速，可以選擇優(yōu)抽速
-泵參數(shù)可通過串行接口監(jiān)測
-標準 D-Sub 連接器可提供觸點閉合進行遠程啟停
-通過選擇佳轉(zhuǎn)速可降低工作區(qū)域的噪音和振動水平，幾乎不會降極限真空度
-使用 Agilent A-PLUS 軟件

IDP-3 渦旋式干泵規(guī)格

噪音水平	55 dB(A)
寬度	5.5 in
尺寸（寬 x 高 x 長）	5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)	3 m3/h 50 L/min 1.8 CFM
抽速 (60 Hz)	3.6 m3/h 60 L/min 2.1 CFM
排氣口連接	? inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作環(huán)境溫度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大進氣口壓力	1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
運輸重量	10.5 kg 23 lbs
進樣口連接	NW16
重量（只有泵時）	9.5 kg 21 lbs
長度	14.09 in
高度	7.13 in

TriScroll 600 變頻泵

噪音水平	55–68 dB(A)
寬度	10.8 in
尺寸（寬 x 高 x 長）	10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)	全速下為 30 m3/h 全速下為 500 L/min 全速下為 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)	全速下為 30 m3/h 500 L/min 全速下為 17.7 CFM
排氣口連接	NW25
操作環(huán)境溫度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大進氣口壓力	1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
輸入電壓	200–240 V，1?，50/60 Hz
運輸重量	39 kg 85 lbs
進樣口連接	NW40
重量（只有泵時）	31 kg 68 lbs
長度	18.35 in
高度	14 in

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片