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產(chǎn)品中心

真空控制器和規(guī)管

真空控制器和規(guī)管

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

“可靠、準(zhǔn)確、高效”,安捷倫真空規(guī)管和真空計(jì)控制器可在廣泛領(lǐng)域內(nèi)完成對(duì)真空系統(tǒng)的測(cè)量和控制。 安捷倫真空測(cè)量技術(shù),為復(fù)雜的工業(yè)應(yīng)用環(huán)境而生。簡(jiǎn)約的設(shè)計(jì)、簡(jiǎn)便的操作,將保證您真空系統(tǒng)或真空工藝的省時(shí)、高效。 逾 50 年的科研領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)中,我們的儀器超級(jí)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的特性,完全符合科研院所的要求。同時(shí),通過STARRS Calibration 和支持系統(tǒng),安捷倫為您提供準(zhǔn)確測(cè)量。

產(chǎn)品概述

科研及工業(yè)應(yīng)用中的真空測(cè)量
“可靠、準(zhǔn)確、高效”,安捷倫真空規(guī)管和真空計(jì)控制器可在廣泛領(lǐng)域內(nèi)完成對(duì)真空系統(tǒng)的測(cè)量和控制。安捷倫真空測(cè)量技術(shù),為復(fù)雜的工業(yè)應(yīng)用環(huán)境而生。簡(jiǎn)約的設(shè)計(jì)、簡(jiǎn)便的操作,將保證您真空系統(tǒng)或真空工藝的省時(shí)、高效。逾 50 年的科研領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)中,我們的儀器超級(jí)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的特性,完全符合科研院所的要求。同時(shí),通過STARRS Calibration 和支持系統(tǒng),安捷倫為您提供準(zhǔn)確測(cè)量。

XGS-600 真空計(jì)控制器
XGS-600 真空計(jì)控制器可以同時(shí)或獨(dú)立操作多達(dá) 12 個(gè)真空計(jì)并顯示多達(dá) 8 個(gè)真空計(jì)的讀數(shù)。標(biāo)準(zhǔn)功能包括 8 個(gè)設(shè)定點(diǎn)和 8 個(gè)觸點(diǎn)繼電器。所有設(shè)置都存儲(chǔ)在閃存中,因此無需在斷電后花時(shí)間進(jìn)行重新設(shè)置。
XGS-600 真空計(jì)控制器可以操作對(duì)流真空計(jì) (CONV)、熱燈絲真空計(jì) (HFIG)、冷陰極真空計(jì)/反磁控真空計(jì) (IMG) 和所有安捷倫主動(dòng)式真空計(jì) (AN)。XGS-600 控制器內(nèi)多可安裝 6 個(gè)真空計(jì)控制電路板,這些電路板可以采用任意組合,以滿足您的應(yīng)用要求。

特點(diǎn)
簡(jiǎn)潔的用戶界面
直觀的屏顯功能
容量、靈活性、可擴(kuò)展性
采用標(biāo)準(zhǔn)半機(jī)架的緊湊設(shè)計(jì)
一次允許操作 1–12 個(gè)真空計(jì),同時(shí)顯示多達(dá) 8 個(gè)真空計(jì)的讀數(shù)
實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用、加速器、同步加速器、OEM 設(shè)備及其他大型設(shè)備的理想選擇
能夠在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行擴(kuò)展和重新配置
可對(duì)每個(gè)真空計(jì)進(jìn)行模擬量輸出
提供串行接口,所有數(shù)據(jù)保存在無需使用電池的非易失性存儲(chǔ)器中

AGC-100/AGD-100 控制器
AGC-100 是與 FRG-7xx、PVG-5xx、PCG-75x 和 CDG-500 系列主動(dòng)式真空計(jì)兼容的單通道控制器,可以自動(dòng)識(shí)別所連接的主動(dòng)式真空計(jì)。該真空計(jì)控制器具有 USB 和以太網(wǎng)端口。AGD-100 是用于 FRG-700/702、PVG-5xx 和 PCG-75x 系列主動(dòng)式真空計(jì)的單通道顯示選件。
兩種型號(hào)都具有用戶可選的測(cè)量單位(mbar、Torr 和 Pa)以及可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)控制。兩種型號(hào)都可以顯示幾乎所有同類產(chǎn)品的皮拉尼和冷陰極真空計(jì)的讀數(shù)。

特點(diǎn)
自動(dòng)識(shí)別安捷倫主動(dòng)式真空計(jì),簡(jiǎn)化設(shè)置
與用戶所選的壓力單位(mbar、Torr 和 Pa)通用兼容
利用壓力讀數(shù)進(jìn)行重要操作
AGC-100 具有 USB 和以太網(wǎng)接口選件
與幾乎所有同類產(chǎn)品的皮拉尼、冷陰極、熱陰極和電容薄膜真空計(jì)兼容

技術(shù)參數(shù)

XGS-600真空計(jì)控制器性能指標(biāo)

應(yīng)時(shí)
10 ms
安裝尺寸
2U 1/2 Rack
環(huán)溫度
-5 to +40 °C
標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)
EN 61010,EN 61326-3-2 2006,EN6100-3-2 2005,EN61326:1997/A1:1998/A2:符合 2001/A3:2003、EN55011、FCC Part 15 subpart J、CSA1010、RoHS 標(biāo)準(zhǔn),WEEE
模擬輸出
0-10 VDC
設(shè)定點(diǎn)
Eight channels
環(huán)境溫度
-15 至 +70 °C
輸入
100-240 Vac
通訊接口
RS232                    RS 485

AGC-100/AGD-100控制器性能指標(biāo)

操作環(huán)境溫度
+5 to +50 °C
測(cè)量范圍
1.3 x 10-3 至 1067 mbar,1 x 10-3 至 800 Torr
碼頭環(huán)境
-20 至 +60 °C
輸入電壓
100-240 Vac

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 集成電路
  • 芯片
  • 晶圓片

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