產(chǎn)品簡(jiǎn)介
安捷倫提供穩(wěn)定可靠的獨(dú)特渦輪分子真空泵和控制器，在學(xué)術(shù)、科研、納米技術(shù)、分析儀器和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。安捷倫渦輪分子泵抽速范圍為 70-2300 L/s，采用諸多創(chuàng)新設(shè)計(jì)，并有全面的測(cè)試和可靠的售后支持作為保障。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
分子泵
產(chǎn)品概述
安捷倫提供穩(wěn)定可靠的獨(dú)特渦輪分子真空泵和控制器，在學(xué)術(shù)、科研、納米技術(shù)、分析儀器和工業(yè)等廣泛應(yīng)用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。安捷倫渦輪分子泵抽速范圍為 70-2300 L/s，采用諸多創(chuàng)新設(shè)計(jì)，并有全面的測(cè)試和可靠的售后支持作為保障。
Agilent TwisTorr 技術(shù)
-抽氣效應(yīng)所需要的動(dòng)量來(lái)自于轉(zhuǎn)子盤，這些動(dòng)量被傳遞給氣體分子
-氣體分子被迫沿著定子盤上的螺旋通道運(yùn)動(dòng)。通道的特殊設(shè)計(jì)能夠確保局部抽速恒定并避免反向壓力梯度，以大程度降低功耗
向心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的下表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。
位于 TwisTorr 定子盤上表面的螺旋通道產(chǎn)生向心抽氣作用。
離心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的上表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。
好的性能
-TwisTorr 泵能夠?qū)λ袣怏w提供同級(jí)別產(chǎn)品中的抽速
-先進(jìn)的 TwisTorr 技術(shù)還可在市售渦輪分子泵中實(shí)現(xiàn)輕質(zhì)氣體的高壓縮比
-在達(dá)到高性能的同時(shí)，新型拖動(dòng)級(jí)的設(shè)計(jì)與之前的設(shè)計(jì)相比，平均功耗將降低至四分之一
節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
-我們的轉(zhuǎn)子采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的安捷倫一體式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，在這種設(shè)計(jì)中，TwisTorr 定子盤置于兩片平滑的轉(zhuǎn)子盤中間，因此能夠通過(guò)兩個(gè)串聯(lián)的轉(zhuǎn)子
盤表面實(shí)現(xiàn)抽氣作用
-TwisTorr 定子盤的雙面螺旋通道設(shè)計(jì)將向心和離心抽氣作用進(jìn)行串聯(lián)，大大減小了拖動(dòng)級(jí)的尺寸
壓縮比
-與尺寸及轉(zhuǎn)速相同的 MacroTorr 拖動(dòng)級(jí)相比，單TwisTorr 級(jí)的 N2 壓縮比多提高了 100 倍，且不會(huì)降低前級(jí)耐壓和抽速
Agilent TwisTorr 技術(shù)
-抽氣效應(yīng)所需要的動(dòng)量來(lái)自于轉(zhuǎn)子盤，這些動(dòng)量被傳遞給氣體分子
-氣體分子被迫沿著定子盤上的螺旋通道運(yùn)動(dòng)。通道的特殊設(shè)計(jì)能夠確保局部抽速恒定并避免反向壓力梯度，以大程度降低功耗
向心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的下表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。
位于 TwisTorr 定子盤上表面的螺旋通道產(chǎn)生向心抽氣作用。
離心抽氣作用
轉(zhuǎn)子盤的上表面區(qū)域能夠?qū)?dòng)量傳遞給氣體分子。
好的性能
-TwisTorr 泵能夠?qū)λ袣怏w提供同級(jí)別產(chǎn)品中的抽速
-先進(jìn)的 TwisTorr 技術(shù)還可在市售渦輪分子泵中實(shí)現(xiàn)輕質(zhì)氣體的高壓縮比
-在達(dá)到高性能的同時(shí)，新型拖動(dòng)級(jí)的設(shè)計(jì)與之前的設(shè)計(jì)相比，平均功耗將降低至四分之一
節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
-我們的轉(zhuǎn)子采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的安捷倫一體式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，在這種設(shè)計(jì)中，TwisTorr 定子盤置于兩片平滑的轉(zhuǎn)子盤中間，因此能夠通過(guò)兩個(gè)串聯(lián)的轉(zhuǎn)子
盤表面實(shí)現(xiàn)抽氣作用
-TwisTorr 定子盤的雙面螺旋通道設(shè)計(jì)將向心和離心抽氣作用進(jìn)行串聯(lián)，大大減小了拖動(dòng)級(jí)的尺寸
壓縮比
-與尺寸及轉(zhuǎn)速相同的 MacroTorr 拖動(dòng)級(jí)相比，單TwisTorr 級(jí)的 N2 壓縮比多提高了 100 倍，且不會(huì)降低前級(jí)耐壓和抽速
技術(shù)參數(shù)
分子泵規(guī)格
應(yīng)用領(lǐng)域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
