產(chǎn)品簡介
SPSM系列探針臺主要參數(shù)是樣品座尺寸：2英寸、4英寸；最大探針臂數(shù)量6個；樣品環(huán)境在大氣中，溫度范圍：室溫。SPSM系列緊湊型室溫手動探針臺是一款經(jīng)濟實惠、入門級的探針臺，能夠對2寸、4寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的最佳選擇。
PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
緊湊型手動探針臺SPSM系列
產(chǎn)品概述
Avantgarde緊湊型室溫手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測，用于室溫下超小芯片晶圓和器件的非破壞性測試。
SPSM系列緊湊型室溫手動探針臺是一款經(jīng)濟實惠、入門級的探針臺，能夠對2寸、4寸晶圓片進行大量非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備，可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量。緊湊的桌面設計是學術和實驗研究的最佳選擇。
特點
? 樣品座可以放置最大4英寸的晶圓樣品
? 樣品座下方位移座可實現(xiàn)樣品座三維精細位移調節(jié)使得樣品測試和換樣更加便捷。
? 最多可安裝6個探針臂
? 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動，并且可以三維微調，操作方便，扎針精準，四個探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
? 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內
? CCD最大放大倍數(shù)為180倍，最大工作距離為100mm
技術參數(shù)
型號分類：
| 型號 | 樣品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
參數(shù)和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| 固定方式： | 磁鐵吸附 |
| XYZ微調移動行程： | XYZ-13mm |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 探針臂數(shù)量： | 可安裝6個探針臂（左右各3個） |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 50-1000倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| 顯微鏡分辨率： | 最小可識別3μm |
| 可加選件 | |
| 光學平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
應用領域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
